Łodzie parowe wyróżniają się w piecach próżniowych

Łódź odparowań jest piecem próżniowym do osiągnięcia podstawowych elementów powłoki do odparowania, jej funkcją jest noszenie odparowania materiałów i odparowanie go przez ogrzewanie, osadzone w środowisku próżniowym w celu utworzenia cienkiej warstwy. Poniżej z sceny aplikacji, właściwości materialnych, punktów technicznych i zastosowań branżowych oraz innych aspektów szczegółowej analizy łodzi parowania w zastosowaniach pieca próżniowego:

Podstawowa scena aplikacyjna

1. Cienkie osadzanie się i przygotowanie do powłoki Piernikowe Pierkaju Przez wyposażone materiały do ​​ogrzewania łodzi Evaporation (metale, stopy, związki itp.), Tak że jest ono w środowisku niskiego ciśnienia, odparowanie i osadzanie powierzchni podłoża, tworzenie funkcjonalnych cienki (Sio₂, sinₓ), stosowany w produkcji chipów, płytach obwodowych, urządzeniach MEMS. Filmy optyczne: Filmy wzmacniające transmitancję (MGF₂), Filmy odblaskowe (AG, AL), Filmy filtracyjne (wielowarstwowe filmy dielektryczne), używane w obiektywach optycznych, kamerach telefonów komórkowych, wyświetlaczy. Powłoki funkcjonalne: powłoki odporne na zużycie (TIN, CRN), filmy insulatujące ciepło (stopy metalowe), filmy odporne na korozję (PTFE), używane w szklance motoryzacyjnym, narzędziach tnąca, komponentach lotniczych.

2. Oczyszczanie materiałów i modyfikacja rozdziału materiałów o wysokiej czystości: Zastosowanie różnych substancji o różnym ciśnieniu pary, przez ogrzewanie łodzi parowania w celu osiągnięcia oczyszczania elementów ziem rzadkich (takich jak ND, Dy), metali szlachetnych (AU, PT). Obróbka domieszkowania powierzchni: odparowanie domieszek (takich jak B, N) na powierzchni wafle półprzewodnikowych lub elektrod akumulatorowych, w celu poprawy właściwości elektrycznych lub optycznych materiałów.

Po drugie, punkty techniczne i wymagania projektowe

1. Kontrola temperatury i jednorodność łodzi odparowej przez ogrzewanie oporowe lub ogrzewanie bombardowania wiązki elektronowej, należy ustawić temperaturę zgodnie z materiałowym ciśnieniem pary (takim jak temperatura parowania Al około 1200 stopni, au około 1400 stopni).

Projekt nadwozia łodzi (taki jak głębokość rowka, kąt pochylenia), aby upewnić się, że odparowanie materiału jest jednolite, aby uniknąć lokalnego przegrzania spowodowanego rozpryskiwaniem lub ulatnianiem się zanieczyszczeń.

2. Środowisko próżniowe dopasowujące próżniowe (zwykle 10- ³ ~ 10- ⁶ Pa) może zmniejszyć temperaturę wrzenia materiału, poprawić szybkość parowania, unikając utleniania. Materiały łodzi parowania muszą być stabilne pod wysoką próżnią, takie jak łódź grafitowa, należy unikać utleniania w wysokiej temperaturze (należy wypełnić gazem obojętnym, takim jak AR).

3. Kompatybilność chemiczna w celu uniknięcia odparowania materiałów i reakcji łodzi: na przykład odparowanie materiałów Zn, materiałów zawierających S, nie powinno używać łodzi Molybdenum (łatwe do utworzenia mos o niskiej temperaturze topnienia do korozji); Parowanie azotku preferowane łódź azotku boru, aby zapobiec korpusowi łodzi metalowej i reakcji elementu N w celu wygenerowania zanieczyszczeń.

4. Cykl życia i wymiany Po długotrwałym użyciu łódź może być spowodowana erozją stopu materiału, resztami odparowania lub awarią deformacji, regularnej konserwacji (takiej jak czyszczenie ultradźwiękowe) lub wymiany w celu zapewnienia stabilności jakości powlekania. Typowe zastosowania branżowe

1. Półprzewodnikowa i mikroelektroniczna produkcja chipów: odparowanie AL, Przygotowanie Cu zintegrowanych elektrod obwodów, za pomocą łodzi Molybdenum lub łodzi wolframu; Odkładanie warstwy izolacyjnej SiO₂ może być opcjonalną łódką grafitową lub azotkiem boru (aby uniknąć zanieczyszczenia metalu). Urządzenia energetyczne: Zastosowanie parowania łodzi azotku boru GAN, ALN, przygotowanie warstwy epitaksjalnej o wysokiej ruchliwości elektronowej (HEMT), aby uniknąć wprowadzenia zanieczyszczeń w metalowym korpusie łodzi.

2

OLED i mini-LED: Parowanie łodzi azotków boru organicznych materiałów emitujących światło (takie jak kompleks IR) lub kropki kwantowe, aby uniknąć materiałów do ciała i reaktywnych cząsteczek organicznych, aby poprawić żywotność urządzenia.

3. Nowe ogniwa słoneczne pola energetycznego: Molybdenum Parowanie łodzi Ag Elektrodę, grafitowe osadzanie łodzi Sinₓ Redukcja Folia redukcyjna; W akumulatorze chalkogenidowym jod wiodący w azotku azotku azotku (FAPBI₃), aby zapobiec zanieczyszczeniu parą wodną i zanieczyszczeń.

4. Akumulatory litowo-jonowe: Parpowanie łodzi tantalu Li Metal przygotowanie elektrod akumulatorowych w stanie stałym, zastosowanie odporności na korozję litową; Parowanie elementów B, N domieszkowanych zmodyfikowanej anodzie na bazie krzemu, w celu zwiększenia wydajności rowerowej.

5. Wysokiej klasy sprzęt i narzędzia lotnicze: parowanie łodzi wolframu TI, CR przygotowawcza, CRN Hard Coating, poprawia odporność na zużycie narzędzia; Parowanie łodzi azotku boru diamentowego prekursora, przygotowanie folii DLC stosowanej w łożyskach lotniczych.

Traktowanie stopu w wysokiej temperaturze: odparowanie Al, Y i innych elementów łodzi Molybdenum w piecu próżniowym w celu utworzenia powłok przeciwutleniających (takich jak powłoka tlenku glinu) na ostrza aero-silnika.

Shengyang New Material Co., Ltd. jest zaangażowany w produkcję produktów przetworzonych azotkiem i azotkiem boru i może dostosowywać różne części ceramiczne azotku azotku boru według potrzeb klientów. W razie potrzeby skontaktuj się z nami.
Tel: +8618560961205
E -mail: sales@zbsyxc.com